金屬材料常見滲氮缺陷及其原因主要有以下幾方面：

(1)硬度偏低。生產(chǎn)實踐中，工件滲氮后其表面硬度有時達(dá)不到工藝規(guī)定的要求，輕者可以返工，重者則造成報廢。造成硬度偏低的原因通常有：

1)設(shè)備方面。如系統(tǒng)漏氣造成氧化。

2)材料方面。如材料選擇不合理。

3)前期熱處理。如基體硬度太低，表面脫碳嚴(yán)重等。

4)工件預(yù)處理不徹底。如進(jìn)爐前的清潔方式不當(dāng)及清潔度不夠。

5)工藝方面。如滲氮溫度過高或過低，時間短或氮濃度不足等。

(2)硬度和滲層不均勻。主要原因有：裝爐方式不合理，氣壓調(diào)節(jié)不當(dāng)，滲氮處理期間溫度不均勻，爐內(nèi)氣流不合理。

(3)滲氮后零件變形過大。雖然變形是難以避免的，但是對易變形件，采取以下措施有利于減小變形：

1)滲氮前應(yīng)進(jìn)行穩(wěn)定化處理。

2)滲氮過程中的升、降溫速度應(yīng)緩慢。

3)保溫階段盡量使工件各處的溫度均勻一致，對變形要求嚴(yán)格的工件，在工藝范圍內(nèi)盡可能采用較低的滲氮溫度。

(4)外觀顏色有差別。不同材質(zhì)的零件經(jīng)滲氮處理后表面顏色是略有區(qū)別的，零件出爐后首先用肉眼檢查外觀質(zhì)量，鋼件經(jīng)滲氮處理后表面通常呈銀灰（藍(lán)黑）色或暗灰色，鈦及鈦合金件表面應(yīng)呈金黃色。

(5)脈狀氮化物。滲氮（特別是離子滲氮）易出現(xiàn)脈狀氮化物，即擴(kuò)散層與表面平行走向呈白色波紋狀的氮化物。一般認(rèn)為與合金元素在晶界偏聚及氮原子的擴(kuò)散有關(guān)，因此，控制合金元素偏聚的措施均有利于減輕脈狀氮化物的形成。工藝參數(shù)方面，滲氮溫度越高，保溫時間越長，越易促進(jìn)脈狀組織的形成。如工件的棱角處，因滲氮溫度相對較高，脈狀組織比其他部位嚴(yán)重得多。