泵的基本參數(shù)是極限真空度、最大出口壓強(qiáng)、抽氣速率和前置壓強(qiáng)等。
(1)真空泵的極限真空度
真空泵在無負(fù)載條件下,即封閉泵的進(jìn)氣口時(shí),經(jīng)過長(zhǎng)時(shí)間抽氣運(yùn)行后,所能達(dá)到的最低壓強(qiáng)值,稱為泵的極限真空度。
(2)真空泵的最大出口壓強(qiáng)
真空泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)后,排氣口所排出氣體的最大壓強(qiáng)值,稱為泵的最大出口壓強(qiáng)。
(3)泵的抽氣速率
真空泵在單位時(shí)間內(nèi),所抽出的氣體量稱為泵的抽氣速率。泵的抽氣速率隨入口處壓強(qiáng)的變化而改變。壓強(qiáng)越低抽氣速率越小,相反即大。
(4)泵的前置壓強(qiáng)
為保證真空泵安全運(yùn)轉(zhuǎn),在泵的進(jìn)氣口處需要維持的最低壓強(qiáng)稱為泵的前置壓強(qiáng),又稱泵的啟動(dòng)壓強(qiáng)。