鋼鐵零件的氧化過程是在一般的氧化性氣體介質(zhì)（如空氣）中進(jìn)行的，爐內(nèi)氣氛中的O₂、CO₂和水蒸氣等均是氧化脫碳性強(qiáng)的氣體，它們一般按下列化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行，使鋼鐵的表面被氧化，即鋼在氧化性氣氛中加熱，在零件的表面將產(chǎn)生氧化物，化學(xué)分析表明氧化層從表到里依次為Fe_2O3、Fe₃O₄、FeO，其形成的機(jī)理為表面的氧氣含量高，與鐵強(qiáng)烈作用生成Fe₂O₃，中間部分為Fe₃O₄，內(nèi)層形成了氧含量較低的FeO，另外隨著爐內(nèi)氧含量的增加和加熱溫度的提高，氧化層的厚度會不斷增加，因此在實(shí)際鋼鐵零件的熱處理過程中，確保要爐內(nèi)為中性或還原性氣氛，并確保工藝溫度符合技術(shù)要求。

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通常鋼鐵零件的急劇氧化是在525℃以上發(fā)生的，是鋼鐵與空氣中的氧結(jié)合形成氧化鐵，它低于脫碳的溫度。對于硬氮化和軟氮化的零件而言，為確保氮化過程中變形量控制在要求的范圍內(nèi)，需要在粗加工后進(jìn)行除應(yīng)力退火處理，也會造成輕微的氧化，因此在加工過程中要留有一定的加工余量。氧化擴(kuò)展的快慢程度取決于固溶體的成分，作為工具鋼其中的鉻含量以及碳化物相的特性影響較大。